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半导体废气处理设备工程解决方案

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半导体废气处理解决方案


    废气类型:半导体废气处理


    半导体废气处理设备

    依斯倍半导体废气处理项目案例


    废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。


    废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

    半导体废气处理


    处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统


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    臭气处理解决方案
    臭气处理解决方案
    不同的处理设施及过程会产生各种不同的臭味气体,臭气种类繁多,来源广泛,对人体呼吸、消化、心血管、内分泌及神经系统都会造成不同程度的毒害,其中芳香族化合物如苯、甲苯、苯乙烯等还能使人体产生畸变、癌变。目前常用的臭气处理方法包括物理吸附法、生物法、化学洗涤法、离子法、催化燃烧法、除臭溶液除臭法等
    半导体废气处理解决方案
    半导体废气处理解决方案
    随着高新技术的发展,给环境造成新的污染,例如金属有机化学气相淀积(MOVPE)是一类非常重要的外延生长方法,是近几年来发展起来的生长电子材料的新工艺,它广泛应用于?半导体及其固溶体的生长。它使用有机金属化合物和氢化物或有机金属化合物为源,可以得到平滑的生长界面并可以控制几百纳米或更薄的外延层,能生长量子阱或更低维结构的超晶格薄层材料,制造新一代高速电子器件、激光器、探测器等。MOVPE技术容易扩大为工业生产,所以具有很大的吸引力。
    漆雾废气处理解决方案
    漆雾废气处理解决方案
    漆雾中的有机溶剂——苯、甲苯、二甲苯等属强毒性溶剂,作业时散发至车间空气中,工人经呼吸道吸入后可引起急性和慢性中毒,主要引起中枢神经系统及造血系统的损害,漆雾对作业工人的危害不容忽视,企业可采取切实可行的喷漆废气治理措施,减小污染物排放,降低有毒有害物质对操作工人的健康损害。
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