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半导体废气处理设备工程解决方案

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半导体废气处理解决方案


    废气类型:半导体废气处理


    半导体废气处理设备

    依斯倍半导体废气处理项目案例


    废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。


    废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

    半导体废气处理


    处理方法:依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统


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    臭气处理解决方案
    臭气处理解决方案
    不同的处理设施及过程会产生各种不同的臭味气体,臭气种类繁多,来源广泛,对人体呼吸、消化、心血管、内分泌及神经系统都会造成不同程度的毒害,其中芳香族化合物如苯、甲苯、苯乙烯等还能使人体产生畸变、癌变。目前常用的臭气处理方法包括物理吸附法、生物法、化学洗涤法、离子法、催化燃烧法、除臭溶液除臭法等
    酸碱废气处理解决方案
    酸碱废气处理解决方案
    酸碱废气处理系统主要是用来对车间生产过程中产生的酸性和 碱废气进行排放前的中和处理。其系统的工作原理是将提前配好的酸性或碱性液体通过计量泵打出来加到中和液里,然后通过喷淋泵将中和液体喷洒到生产产生的需要处理的气体上。通过中和液中和从而使废气在排放之前酸碱度达标。 目前最常见的酸碱废气处理方法是喷淋法。
    医疗废气处理解决方案
    医疗废气处理解决方案
    医疗废物焚烧时产生的气体对大气污染很大,主要含有的污染物有酸性气体(HCl、HF、Sox、Nox等)、粉尘(惰性金属盐类、金属氧化物等)、不完全燃烧产物(一氧化碳、碳黑、烃类等)、重金属(Hg、Pb、Cr等)、有机剧毒性污染物(二垩英、呋喃等)
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